项目名称：上海积塔半导体有限公司特色工艺生产线建设项目 项目编号：4197-2340SHJT0002/62 招标范围：除气腔残气分析仪;传送腔残气分析仪;工艺腔残气分析仪;电弧侦测器;配套软件(应用材料机台);配套软件(北方华创机台) 招标机构：中电商务(北京)有限公司 招标人：上海积塔半导体有限公司 开标时间：2024-03-07 10:00 公示时间：2024-03-08 20:23 - 2024-03-11 23:59 中标结果公告时间：2024-03-12 16:18 中标人：万机仪器(香港)有限公司 制造商：MKS UK 制造商国家或地区：英国
